美国IST Repellix 表面改性设备
产品名称： 美国IST Repellix 表面改性设备
英文名称：
产品编号： RPX-210/RPX-540/RPX-560
产品价格： 0
产品产地： 美国
品牌商标： IST PVA-IST
更新时间： null
使用范围： null
北京哲勤科技有限公司
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美国IST(Integrated Surface Technologies)-表面改性设备
典型应用:
表面改性
DNA微阵列
生物兼容性改性
亲水 μ流体薄膜
疏水保护薄膜
提高表面粘附性
无机氧化物原子沉积
MEMS抗粘合层
半导体制造和封装涂层
控制：
PC精密控制，形成单分子层，可设置连续或交替进行。
灵活的控制系统，允许自行设计工艺，形成特色纳米结构。
同一设备更换不同单体可完成不同工艺。
优势：
灵活的工艺步骤
自然沉积，均匀性极高
重复性好
低成本
适用大批量生产
配置：
腔体大小：317.5×243.84×254 mm
运行真空度：10 torr（100℃）
腔室温度：85℃
设备大小：1016×965.2×914.4 mm
回充气体：N2 或CDA (5.5 bar)
PC控制
多达32,000可编程步骤
